真空工学コース 講座概要

講義

定員20名

講義名 内容
1 真空工学の基礎Ⅰ
(気体分子運動論)
「真空」とは何か?を知るために,真空状態での気体の圧力, 気体分子の速度分布や平均自由行程など気体の運動について解説します。
2 真空工学の基礎Ⅱ
(気体の流れ)
気体分子が配管などを流れる際の流れやすさ(コンダクタンス)について解説します。具体的な計算ができるように例題を使いながら説明します。
3 真空工学の基礎Ⅲ
(気体と固体表面)
真空下における固体表面への気体分子の吸着について説明します。また,固体表面での分子の衝突・散乱過程について解説します。
4 真空システム 真空排気過程について説明し,真空排気システムの構築について真空工学の基礎を用いて解説します。
5 真空材料 真空装置を構成する真空材料について,ガス放出の観点から圧力領域毎に解説します。また,実用材料の規格やその表面処理などについても紹介します。
6 真空ポンプ 排気ポンプの分類とその特徴について解説し,気体排出式真空ポンプ,気体溜め込み式真空ポンプなど各種真空ポンプについて解説します。
7 真空計測 各種の真空計の動作原理と特徴を解説します。また,真空を測る際の問題について述べ,正しい真空計の選び方や取付け方について解説します。
8 真空部品と稼働機構 真空装置を構成する真空バルブや直線・回転導入機,真空配管部品など各種の真空部品や真空稼働部品について解説します。

 ※ 講師:1~4・高橋主人(元大島商船高等専門学校)、5~8・栗巣普揮(山口大学)

演習

定員20名

講義名 内容
1 真空科学演習1 真空工学の基礎Ⅰ:気体分子運動論に関する演習
2 真空科学演習2 真空工学の基礎Ⅱ:気体の流れに関する演習
3 真空技術演習3 真空工学の基礎Ⅲ:気体と固体表面に関する演習
4 真空技術演習1 真空材料・真空ポンプに関する演習
5 真空技術演習2 真空計測に関する演習
6 真空技術演習3 真空部品と稼働機構に関する演習
7 真空システム演習1 真空システムに関する演習(総合演習)
8 真空システム演習2 真空システムに関する演習(総合演習)+試験

 ※ 講師:栗巣普揮、山本節夫(山口大学)

実習

定員8名

講義名 内容
1 真空排気実習 油拡散ポンプを用いた真空排気システムを用いて,真空排気実習を行います。真空装置の取り扱い方や真空排気過程を実際に体験します。また,コンダクタンスを隔てた上流・下流の圧力測定を行い,気体の流れにより,排気速度が異なることも実習します。
2 リークテスト実習 ヘリウムリークデイテクタ―を用いたリークテストを経験することで,真空装置の漏れ対策について身に付けます。また,真空ゲージ法などのリーク検査方法についても学びます。

 ※ 講師:栗巣普揮、浅田裕法(山口大学)